Физика твердого тела : лаборатор. практикум для студентов специальностей 1-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы», 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» и 1-41 01 04 «Нанотехнологии и наноматериалы в электронике» всех форм обучения

Работа в среде пакета ATHENA для проектирования технологии интегральных микросхем : учеб. пособие по дисциплине “Основы САПР в микроэлектронике” для студентов специальностей I-41 01 02 “Микро- и наноэлектр. технологии и системы”, I-41 01 03 “Квант. информ