Химия : лаборатор. практикум для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы», I-41 01 03 «Квант. информ. системы», I 36 04 01 «Электронно-опт. системы и технологии» всех форм обучения